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浅谈洁净室等级规范及相关分类

华锐净化工程 2019-05-27 13:49:52 阅读

随着技术水平的提高,无尘环境被广泛应用于各行各业的生产过程中,以确保产品的零污染和高质量要求。
 洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。是指在一定空间范围内去除空气中的微粒、有害空气和细菌等污染物,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声、振动、照明和静电控制在一定需求范围内的专门设计的房间。 
   
  一、洁净室管控项目 
  正如前面洁净室的定义所讲,洁净室不单要对尘埃粒子的占有量进行要求, 
  而且对整个环境等的相关因素进行管控,具体项目如下: 
  1.能除去空气中飘游之微尘粒子;2.能防止微尘粒子之产生 
  3.温度和湿度之控制;4.压力之调节 
  5.有害气体之排除;6.结构物与隔间之气密性;7.静电之防制;8.电磁干扰预防;9.安全因素之考虑。 
  10.节能之考量 
   
  二、洁净室净化等级划分标准 
  世界各国均有自定行的定义规格,但目前比较普遍通用的还是美国联邦标准209E和日本采用公制以每立方公尺为单位的ISO标准。 
  209E标准中洁净室等级以“M”字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数字是以每立方公尺中≥0.5μm之微尘粒子的数目以10的幂次方表示,取其指数表示。若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5等表示。 
  日本在209E标准的基础上采用公制单位,即以每立方公尺为计数单位的ISO标准。以0.1μm微粒子为计数标准,表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class9表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 9。 
   
  三、洁净室分类 
  按照洁净室的架构不同而分为紊流式、层流式、复合式三种。 
  1.紊流式 
  空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 
  优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。 
  缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。 
  2.层流式 
  空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由对立面的地板或隔墙板排风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为100以下。 
  优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。 
  缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。 
  3.复合式 
  复合式为将紊流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。 
   
  四、洁净室气流之流动 
  洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素趋于混乱。 
  1.气流速度数值在0.2~0.52m/s之间,属微风区域,易受人、机器动作的干 
  扰趋于混乱。虽提高风速可抑制此干扰,但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,以最适当的风速供应,达到经济性效果。 
  2.换气次数(气流速度的展现) 
   净化等级与换气次数的对应关系: 
   100级 ≥360次/h 
   1000级 ≥150次/h 
   10000级 ≥25次/h 
   100000级 ≥15次/h 
   
  五、洁净室尘埃测量标准 
  洁净室尘埃测量需按照如下要求进行: 
  1.静态测量 
  环境自净20min后,方可测量 
  2.测量点选择 
  在距离地板最少1.2m处测量(即在所需的工作台面上测量) 
  3.风机及Hepa检验时(风速、尘埃数量) 
  在Hepa下方3cm处取其四角、中心五点进行检验 
   
  六、洁净室的保养 
  洁净室属于一套自带独立功能的复杂设备,正如其他自动化设备一样,同样需要定期、如时的保养维护。只有维护保养到位,其净化功能才能淋漓尽致的发挥,最终达到使用者对环境质量预期的管控效果。洁净室的保养主要涉及以下内容: 
  1.高效过滤器的功效检查及保养 
  (1)泄露测量/季。在过滤器下方3cm左右处进行尘埃颗粒量测,含及整个过滤面,逐行量测。 
  (2)压损测量/季。压损即指风机排出的气流经高效过滤(阻塞)后的损失。 
  2.初效过滤器的维护保养 
  初效过滤器是FFU组合中的第一道滤网,也是室外空气进入洁净室的第一道关口。过滤水平通常为30~65%左右,是否可能
 
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